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稀土永磁材料表面防护磁控溅射系统
日期:2013-12-02 字体大小:

自主设计的磁控溅射系统,可沉积各种薄膜,主要用于磁体的表面防护。该设备有效地解决了磁控溅射沉积过程中的阴影效应,实现了磁体所有外表面均匀镀膜,也可对一定长径比的磁环进行均匀镀膜处理。通过磁控靶设计,显著提高了沉积薄膜速率

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