厂 商 韩国J&L Tech.
型 号 JLCST022
到货日期 2007年10月
技术指标
应力范围：0.01～100GPa；
分辨率：0.01GPa 扫描长度：30mm；
尺寸：400×400×400mm；
重量：20kg
主要用途
一般来说，在基材上沉积一层薄膜会造成试样整体结构翘曲，JLCST022残余应力测试仪就是利激光束测量基材沉积后的结构翘曲，并运用Stoney’s equation来计算薄膜应力。试样应满足如下2个条件：试样弯曲程度远小于基底厚度；膜层厚度远小于基底厚度的二维试样。