厂    商：美国KLA

型    号：G200

投入时间：2007年11月

放置地点：材料学院遍观楼415实验室

设备负责人：王春婷/18968367107

◆ 主要技术指标： 

（1）最大载荷：500 mN；

（2）位移分辨率高达：0.01 nm；

（3）划痕速度：5-500 μm/s；

（4）压头类型：常规Berkovich金刚石压头。

◆ 模块化设计：

划痕测试；硬度模量测试

◆ 样品要求：

（1）光滑平整；

（2）长宽：≤3 cm，高度：≤5 mm。

◆ 主要用途：

适用于半导体器件、硬质涂层（如DLC薄膜）、金属/陶瓷材料、聚合物、生物组织等的力学性能表征，主要用途如下： 

（1）纳米压痕：通过纳米压痕测试材料的硬度、弹性模量、蠕变等性能；

（2）纳米划痕：通过纳米划痕测试材料的结合力等抗划擦性能。

执行标准：连续刚度测量（CSM）技术，ISO 14577国际标准。