厂    商：美国KLA

型    号：G200

投入时间：2018年12月

放置地点：材料学院遍观楼415实验室

设备负责人：王春婷/18968367107

◆ 主要技术指标：

（1）最大载荷：500 mN；

（2）位移分辨率高达：0.01 nm；

（3）划痕速度：5-500 μm/s；

（4）压头类型：常规Berkovich金刚石压头；

（5）划痕长度：低载＜15 μm，高载＜15 cm；

（6）原位成像扫描：最大尺寸65×65 μm；

（7）高通量快速压痕测试：最快每秒6点，最大尺寸75×75 μm

◆ 模块化设计：

划痕测试；硬度模量测试；高温模块（≤500℃）；快速压痕。

◆ 主要用途：

用于涂层、金属、聚合物、膜材料在微纳米尺度上的力学性能表征，获得材料的压痕硬度、压痕模量、结合力、硬度/模量分布云图等性能参数，包括：

（1）纳米压痕：通过纳米压痕测试材料的硬度、弹性模量、蠕变等性能；

（2）纳米划痕：通过纳米划痕测试材料的结合力等抗划擦性能；

（3）原位成像（SPM）：可在样品指定位置进行压痕测试，获得压痕形貌图；

（4）动态纳米压痕测试（连续刚度法）：可获得硬度、模量随压入深度的变化；

（5）高通量快速打点（XPM）：可获得样品指定区域内硬度及弹性模量分布云图。

执行标准：连续刚度测量（CSM）技术，ISO 14577国际标准。