厂  商：韩国

型  号：JLCST022

投入时间：2007.10

放置地点：材料学院遍观楼415实验室

设备负责人：王春婷/18968367107

◆ 主要技术指标：

（1）应力范围：0.001-100 GPa；

（2）分辨率：0.001 GPa；         

（3）扫描长度：30 mm；

（4）尺寸：400×400×400 mm。

◆ 样品要求：

（1）试样的长宽比大于10；

（2）膜层的厚度要远小于基底厚度。

◆ 主要用途：

一般来说，在基材上沉积一层薄膜会造成试样整体结构翘曲，JLCST022残余应力测试仪就是利激光束测量基材沉积后的结构翘曲，并运用Stoney’s equation来计算薄膜应力。试样应满足如下2个条件：试样弯曲程度远小于基底厚度；膜层厚度远小于基底厚度的二维试样。