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3D光学轮廓仪（UP-Lambda 美国）
发布日期：2025-10-14
厂 商：美国
型 号：UP-Lambda
投入时间：2019.05
放置地点：材料学院遍观楼415实验室
设备负责人：王春婷/18968367107
◆ 主要功能：
激光模式；白光干涉模式。
◆ 主要技术指标：
（1）垂直测量范围：可达100 mm；
（2）倾斜阶段：6 º；
（3）XY舞台分辨率：0.1μm。
◆ 主要用途：
主要用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。
